第271章 國產通信芯片量產籌備

请关闭浏览器的阅读/畅读/小说模式并且关闭广告屏蔽过滤功能，避免出现内容无法显示或者段落错乱。

卷首語

【畫麵：1965 年 12 月的上海電子管廠三分廠，42 歲的車間主任老陳正趴在 1.5 米高的 “65 型” 光刻機操作台上，用放大鏡觀察光刻膠在矽片上的顯影效果。他的藍布工作服口袋裡露出半截 1964 年的《半導體器件工藝記錄》，紙頁邊緣用紅筆標注著 “光刻線寬偏差 ±2μm” 的連續記錄，袖口沾著的淡綠色顯影液與胸前 “工業學大慶” 的徽章形成特殊印記。鏡頭掃過車間內此起彼伏的真空泵聲，國產 “紅旗 - 3 型” 光刻機的紫外燈在灰塵浮動的空氣中投射出淡紫色光暈，與牆角堆著的、從蘇聯進口的舊版光刻掩膜版形成時代的疊影。字幕浮現：1965 年末，當國產通信芯片的設計圖紙首次轉化為生產指令，一群穿著粗布工裝的工人與技術員在光刻膠與封裝機之間展開量產突圍。老陳團隊用放大鏡校準曝光時間，在坐標紙上記錄每 0.1℃的爐溫變化，於手工操作的精度極限與工業化生產的標準要求間尋找平衡 —— 那些被顯影液染藍的工作手套、在考勤表背麵繪製的工藝流程圖、用自行車輻條改製的探針夾具，終將在曆史的半導體生產線上，成為中國通信芯片從實驗室走向量產的第一組工藝坐標。】

1965 年 12 月 5 日，上海電子管廠的技術分析會上，老陳將首版試生產的芯片良品率報表摔在滿是油汙的會議桌上，25 歲的工藝員小李看著 “28.7%” 的紅色數字，手中的鑷子在顯微鏡載物台上劃出刺耳的聲響。“第三批次的光刻膠又出現龜裂，” 老陳敲了敲剛從北京電子所送來的芯片設計圖，10 微米的晶體管線條在台燈下模糊不清，“我們的光刻機比設計要求慢了 0.3 秒，相當於在米粒上刻字時手抖了一下。” 他麵前的搪瓷缸裡，隔夜的大麥茶結著油花，與牆上 “苦戰百日實現芯片量產” 的紅色橫幅形成沉默的對峙。

一、光刻間的微米級突圍

根據《1965 年國產芯片量產籌備檔案》（檔案編號 XJ-LC-1965-12-01），老陳團隊首先遭遇 “光刻精度不足” 難題。在顯微鏡下，他們發現 “紅旗 - 3 型” 光刻機的絲杆傳動存在 0.5 微米的周期性誤差，導致晶體管柵極線條出現鋸齒狀畸變。“就像用生鏽的刻刀雕花，” 老陳用細砂紙打磨絲杆表麵，金屬粉末落在他的工作鞋上，“得讓每個機械部件都經得起顯微鏡的審視。”

12 月 10 日，首次光刻工藝調試在恒溫間展開。老陳帶著三名技工組成 “精度攻堅組”，用千分表校準光刻機的每一個導軌接縫，發現當室溫波動超過 1℃，絲杆熱膨脹會導致 1 微米的位移。他們借鑒鐘表廠的恒溫技術，在光刻間加裝煤爐暖氣，用老式水銀溫度計實時監控，將室溫控製在 20±0.5℃，這個源自傳統手工業的精細操作，讓絲杆誤差降至 0.2 微米。

二、顯影池的化學反應戰

在解決 “光刻膠顯影不均” 問題時，團隊發現國產光刻膠的感光靈敏度比設計值低 15%。小李在顯影池邊連續觀察 20 個批次，發現顯影液的攪拌速度與膠膜溶解率呈非線性相關。“就像熬中藥講究火候，” 他用玻璃棒手動攪拌顯影液，記錄下每分鐘 20 圈的最佳轉速，“太快衝掉膠膜，太慢留殘膠。” 這個手工得出的參數，後來成為《光刻膠顯影操作規程》的核心條款。

老陳則盯上了顯影液的溫度控製。他發現當液溫從 25℃升至 28℃，顯影後的線條寬度會增加 1 微米，立即帶領工人改造冷卻係統，用自行車內胎製作循環水袋，將液溫波動控製在 ±0.3℃，而他的工作服上，永遠留著水袋滲漏的淡藍色顯影液痕跡。

三、擴散爐的溫度迷宮

12 月 15 日，擴散工藝的雜質濃度不均問題導致晶體管閾值電壓偏差超過 20%。老陳爬進剛降溫的擴散爐，用粉筆標記爐管內壁的溫度分布，發現加熱絲的排列導致軸向溫差達 5℃。“就像冬天烤火，離爐口近的地方燙手，遠的地方冰涼，” 他帶領鉗工重新排布加熱絲，將爐管分為 5 個溫控區，每個區用熱電偶獨立測溫，這個創新讓軸向溫差降至 1℃。

在調試磷擴散工藝時，小李發現雜質源的舟皿擺放角度影響擴散均勻性。他借鑒農村灶台的通風原理，將舟皿傾角從水平改為 15 度，使氣體流速均勻性提升 40%，而他的記錄本上，畫滿了不同角度的氣流模擬圖，頁腳寫著：“連灶台都講究風路，擴散爐更得讓雜質‘走正道’。”

四、封裝間的引線暗戰

12 月 20 日，封裝工序的引線鍵合成功率不足 40%，顯微鏡下可見金絲與焊盤的結合處存在微小氣泡。老陳從上海手表廠請來技工老張，發現是鍵合機的超聲功率不穩定所致。“就像鐘表匠焊接遊絲，” 老張調整超聲換能器的振幅，“功率太大震裂焊盤，太小粘不牢。” 他們用香煙灰檢測超聲振動，當煙灰呈現均勻跳動時，鍵合成功率提升至 70%。

這章沒有結束，請點擊下一頁繼續閱讀！

喜歡譯電者請大家收藏：(www.qidianxin.com)譯電者全本小說網更新速度全網最快。